品牌：美国英特格（ENTEGRIS）
产品品类：Wafergard GTL In-line Gas Filters 在线气体过滤器 / PTFE气体过滤器
产品型号：WGFG01DSH
滤膜材质：高纯聚四氟乙烯（PTFE）
外壳与支撑材质：高强度聚砜（Polysulfone）
连接端口规格：Rc1/4（PT1/4 内螺纹接口）
颗粒截留效率：对于直径大于 0.0015 µm 的颗粒，截留效率达到 99.9999999%
推荐工作流速：最高可达 60 至 80 slpm（标准升/分钟）
最大工作压力：0.41 MPa @ 20°C
最大正向压差：0.41 MPa @ 20°C
最大反向压差：0.03 MPa @ 20°C
最高操作温度：50°C
外形尺寸：筒体直径约 25 mm，整体长度约 101 mm
重量信息：约 95 g（轻量化全密封紧凑型本体核心组件净重）
美国英特格（ENTEGRIS）WGFG01DSH 是一款专为半导体制造制程、超净微电子工艺、点用（POU）端气体纯化及精密工业气体管路设计的高效率在线特种气体过滤器。作为 Wafergard GTL 系列的核心代表型号，该产品在流道几何结构设计、滤膜成型工艺以及高纯材料的选择上，都深度契合了现代先进晶圆制造对污染控制的严苛指标。其内部过滤核心采用英特格特有的高密度孔隙聚四氟乙烯（PTFE）精密滤膜，具备卓越的化学稳定性和极低的挥发释出率。支撑骨架与外部包覆筒体则创新地采用了具有良好机械硬度和耐温特性的聚砜（Polysulfone）材料。通过先进的热熔焊接全密封工艺，将过滤元件与外壳浑然一体地结合在一起，从物理结构上免除了由于使用传统密封圈或粘接剂而可能带来的气体二次化学污染隐患，在保障气流超高洁净度的同时，赋予了整个过滤组件优异的耐压与抗疲劳特性。
从极其广泛的行业应用表现与核心技术性能来看，WGFG01DSH 在线气体过滤器常年活跃在晶圆运输承载系统（Wafer Transport Systems）、低吸气量保护装置、洁净干燥空气（CDA）终端配给、高纯氮气吹扫线、精细实验室气体分配盘以及各种点用端（Point-of-Use）惰性气体保护回路中。在高度自动化的半导体前道或后道工艺流水线上，微小的微粒污染都可能直接导致整批晶圆的良率报废。该型号凭借其内部高度均质的微孔网状滤膜，针对工艺气流中直径小至 0.0015 微米（1.5 纳米）的悬浮超细颗粒物，依然能够提供高达九个九（>99.9999999%）的绝对截留效率。即使在气流速度处于 80 slpm 的设计高流速峰值下运行时，过滤器内部独特的空气动力学流道也能够把气体经过时的初始压降克制在极低水平，从而完美避免了由于管路局部阻力骤增而引起的上游气体回传或流量供给不稳，为精密制造设备提供了稳定、纯净、连续的高质量工艺气体屏障。
在实际的工业管路系统集成与设备物料维护配套中，WGFG01DSH 采用的是工业标准的 Rc1/4 内螺纹（PT1/4）连接方式，能够极其紧凑且气密地融入到现有的气体控制面板或分支管线中。如果工艺现场对管道的螺纹接口形式有不同的标准限制，用户通常可以对标替换选择采用 1/4 英寸 NPT 内螺纹接口的姊妹型号 WGFG01DSO，两者在过滤性能上保持高度一致。针对半导体厂区中不同气路的腐蚀性、压力以及温度环境的变化，英特格（ENTEGRIS）旗下开发了覆盖全制程的气体净化与过滤矩阵。例如，在面对诸如氯化氢、氨气或强活性反应气体等特殊工艺气体（Specialty Gases）的高压高温输送环境时，工程师通常会倾向于升级采用全不锈钢外壳或全镍滤芯的 Wafergard II 系列表面贴装式过滤器。而 WGFG01DSH 则凭借其在惰性气体与干燥空气过滤中表现出的极高性价比、轻量化紧凑型结构以及免维护的全周期运行优势，成为了众多半导体厂配气管路、自动化MRO耗材更换和高端机台配套时的首选硬件方案。
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