品牌:美国英特格(ENTEGRIS)
产品品类:ProcessGard PL Half Dove Tail 液体过滤器外壳 / 滤筒外壳
产品型号:YY260103N
主体材质:SUS316L 高纯度不锈钢(封头、筒体、排气阀、排液阀、栓塞等组件)
夹箍材质:等效 304 不锈钢
表面处理:内表面高精密电抛光(Electropolishing);外表面 Buff #400 抛光
进出口规格:3/4 英寸(3/4" Inlet / Outlet)
接头形式:NPT 螺纹接头(NPT Fitting)
适用滤芯长度:5 英寸(5" Cartridge)
滤芯接口代码:Code 0 接口(双 O 型圈扁尾或特定半燕尾套件规格)
密封圈材质:G-145 EPDM(三元乙丙橡胶,可根据工艺介质选配其他材质)
最高操作压力:1.5 MPa @ 80°C(静态最高工作压力指标)
重量信息:约 2450 g(纯金属本体及高强夹箍组件总重,不含内部滤芯)
美国英特格(ENTEGRIS)YY260103N 是一款专为半导体超净制程、精细化工、生命科学及高性能微电子湿法工艺设计的高纯度不锈钢液体过滤器外壳。该产品作为 ProcessGard PL Half Dove Tail 系列的核心构件,在材质选用、表面处理及流道几何设计上均遵循了极为严苛的国际工业标准。其主体封头与核心筒体全部由 SUS316L 超低碳不锈钢锻造或厚壁管材加工而成。这种材质不仅天然具备极佳的耐腐蚀性和抗化学品侵蚀能力,而且在长期输送去离子水、高纯有机溶剂或特定弱酸弱碱介质时,能表现出微乎其微的金属离子释出率。为了在根本上消除微粒滞留与细菌滋生的隐患,外壳内部表面经过了高规格的电抛光处理,流道死角被压缩至物理极限。外部则采用 400 目的高精机械抛光。这种内外兼修的表面处理工艺,全方位保证了工艺流体在滤壳内部的极速顺畅流通,进而为高洁净度物料的精密过滤提供了非常坚实的基础屏障。
从广泛的行业应用表现与关键的技术性能来看,YY260103N 滤壳在半导体晶圆清洗设备、湿法刻蚀显影机配给线、高精密数控喷墨墨水过滤、实验室超纯水终端以及光刻胶辅助化学品输送系统中发挥着不可替代的中流砥柱作用。在高度集约化的半导体湿电子化学品(Wet Chemicals)输送管路中,该滤壳凭借 3/4 英寸的标准 NPT 螺纹接头,能够极其简便且气密地嵌入到现有的硬质或柔性管路系统之中。得益于其高达 1.5 MPa 额定静态操作压力的机械硬度储备,外壳能够在长期经受泵浦周期性流体脉冲、压力瞬变以及高达 80 摄氏度的高温物料清洗时,始终保持不发生任何微量渗漏或结构变形。快开式的等效 304 不锈钢强力夹箍设计,使得现场操作人员在进行滤芯周期性更换时,无需借助复杂的重型机械工具。这不仅能将核心产线的停机维护时间缩短至数分钟以内,更显著降低了在更换耗材过程中工艺回路遭受外部大气的二次交叉污染风险。
在实际的工业系统设计与集成物料匹配中,YY260103N 通常需要与英特格原厂或同等规格标准的 5 英寸 Code 0 接口高精密滤芯进行组合匹配,从而实现对流体中微米乃至纳米级颗粒物的绝对截留。如果设备工程师在盘面布局时遇到了特殊的安装空间限制,或者由于流体流速的变化需要不同规格的承载能力,英特格旗下也建立了极其庞大且互补的不锈钢和特种氟塑料(Fluoropolymer)滤壳矩阵。例如,在处理腐蚀性极强的高浓度强酸、强碱(如热磷酸、氢氟酸或 SPM 混合液)时,用户可对标选择全氟代烷氧基烷烃材质的 PFA 系列滤壳;而对于需要更大流通量、更长工艺周期或不同管路连接规格的金属滤壳场景,同系列内则配有长达 10 英寸的 YY260103V、长达 20 英寸的 YY260203N、以及进出口径扩展至 1 英寸的 YY260104N 等丰富的产品变体。YY260103N 凭借成熟的金属表面钝化工艺、极高的结构安全余量以及优秀的流体动力学适配性,能够全面无缝兼容各类高端工业自动化控制流体回路,是半导体及高科技制造业升级制程良率的理想硬件选择。
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