品牌：Entegris（美国英特格）
型号：WG3D50DR2
品类：Chambergard™ Fast Vent Diffusers（快速通风扩散器 / 气体过滤器）
主要材质：专利烧结镍膜滤芯（Patented, sintered nickel membrane filter）、316L不锈钢外壳（316L stainless steel）
内部表面粗糙度：≤ 32 μin Ra
接口规格：ISO NW-50（兼容标准ISO隔板夹的隔板安装）
额定最大工作压力（O型圈配置）：0.2 MPa (30 psi)
最大承受压力：0.3 MPa (45 psi)
最高工作温度：带O型圈时为 100°C (212°F)；不带O型圈时可达 400°C (752°F)
进口连接方式：兼容 1/4" VCR® 阳性垫片密封接头
过滤精度：可有效去除气流中大于 0.0015 μm 的微小颗粒
下游清洁度：在额定流量下，大于 0.01 μm 的颗粒物少于 0.03 个/升（<1 个/立方英尺）
组件尺寸：外径约 67.9 mm (2.67")，主体厚度或隔板配合部分约 59.9 mm (2.35")，垫片或夹持厚度约 2.6 mm (0.10")
重量信息：约 0.65 kg（因全金属高精密烧结结构，实际带包装出货重量约为 0.85 kg）
美国Entegris（英特格）作为全球半导体工艺及先进制程中气体纯化与流体控制领域的标杆企业，其研发的Chambergard™系列快速通风扩散器在行业中享有盛誉。型号WG3D50DR2正是该系列中专门针对真空室、晶圆装载腔（Load Lock）以及特殊气体控制系统设计的核心控流与高精度过滤元件。半导体制造制程对环境洁净度有着近乎严苛的要求，在晶圆腔室进行快速充气或泄压 Vent 循环时，气流的急速扰动极易扬起腔体内部的微尘颗粒，从而直接导致高价值晶圆的报废，而本款产品正是为了解决这一行业痛点而生。
从产品性能与核心技术来看，WG3D50DR2采用了英特格引以为傲的专利烧结镍膜（Sintered Nickel）技术。这种特制的金属多孔结构不仅具备极高且均匀的孔隙率，能够提供优异的扩散流道，将高压气流均匀、平缓地导入到腔室中，避免局部产生高速射流，同时它本身还是一台超高效率的精密过滤器。根据官方技术指标，它能够稳定拦截滤除引入气体中直径大于0.0015微米（μm）的极细微颗粒，确保流向晶圆表面的每一股气流都达到洁净标准。在实际额定流量运行下，下游的洁净度表现可稳定控制在每升气体中大于0.01微米的颗粒物不足0.03个，从根本上杜绝了二次粒子污染对半导体器件良率的负面影响。
在材料工艺与硬件参数层面，WG3D50DR2扩散器通体采用高纯度316L不锈钢外壳制造，内部表面经过精细抛光处理，表面粗糙度Ra值低于32微英寸，极大降低了气体介质在流经表面时的滞留与吸附风险。该型号在规格上配置了标准的ISO NW-50法兰接口，兼容市面上通用的ISO标准隔板夹进行快速紧固与密封安装。进气口则采用了半导体高纯管道标准件中极为常用的1/4英寸VCR阳性垫片密封接头，确保在频繁的高低温及压力循环交替下依然具备极高的气密性。压力控制上，其设计额定工作压力为0.2兆帕（30 psi），最大耐压可达0.3兆帕（45 psi）。另外，该组件表现出极宽的温度适应能力，在配置密封O型圈时可在100摄氏度的常规环境下稳定作业，若在无O型圈的特殊高温工况下，整机全金属结构能够耐受高达400摄氏度的高温考验，这使得它不仅能应用于常规的真空装载腔，更能完美胜任各种高温CVD（化学气相沉积）或ALD（原子层沉积）制程的前端保护。
在行业应用与选型推荐方面，合理缩短真空腔室的通风循环周期是提高整个半导体机台产出率（Throughput）的关键手段。WG3D50DR2通过将扩散流体动力学与大流量过滤完美结合，允许系统以极快的速度向大气压环境回充气体，而完全不破坏真空腔内的微粒平衡。同类机型中，如果是小型腔体或空间受限的管路，用户常配合选择管径更小的ISO NW-25或NW-40规格扩散器，例如WG3D25LT2或者WG3D40DR2。而针对大体积的工艺腔体，WG3D50DR2则凭借其更大的扩散表面积和NW-50的高通量接口，成为各大晶圆厂和半导体前道设备制造厂商（OEM）进行装机升级的理想方案。它能帮助工厂在维持高良率的前提下大幅压缩非生产性的抽真空与放气时间，为企业带来显著的经济效益。
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WG3DBGNFR4
WG3DBGNRR4
WG3D228R2
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WG3D301R2
WG3D100DR2
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WG3D63DR2
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WG3D80DR2
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WGPM0GGG2
WDPM0CPSF
GPUS300FHX04R00CA
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WG2D40DR2
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WG5D16TR2
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WG3D16TR1
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WG3D16TR3
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WGV5D25LT2
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WGN5D16TR2
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WG3D63DR1
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WG3D100DR3
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WG3D63DR3
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WG3D228R1
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WG3D401R1
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