产品参数
品牌：Entegris (英特格)
系列：Gasketgard 固态管线内线垫片过滤器系列
完整型号：WGPM0GGG2
接头尺寸与规格：1/4" VCR 密封垫片形式
全长尺寸：25.0 毫米 (0.98 英寸)
最大工作压力：高达 20.0 MPa (约 2900 psig / 200 bar)
颗粒截留效率：对于直径不小于 0.01 微米 (10 纳米) 的超细微颗粒，过滤效率不低于 99.9999999%
适用介质：超高纯度氮气、氩气、氧气、氢气、氦气等半导体级别特殊工艺气体
基质材料：全金属耐高温高压机械构造
密封过滤膜材：全金属烧结多孔微米级不锈钢滤材
工作温度区间：允许工作的极端环境温度范围上限可达到 400 ℃
系统压降表现：在高流速状态下保持低且稳定的初始压降曲线
洁净处理等级：出厂前经过 10 级超净间超纯去离子水清洗及高纯氮气精密烘干封装
安装形式：自带卡圈固定结构，支持插入标准 VCR 气路接头卡槽中
接口类型：不锈钢轴向密封垫片式滤芯
产品净重：约 0.012 kg
包装总重：约 0.045 kg (含高纯氮气双层防静电真空保护袋与防挤压泡壳)
Entegris WGPM0GGG2 是一款专门针对半导体前道晶圆制造、光电面板刻蚀、LED 外延片生长等先进制程气路系统而开发的高精密全金属内线垫片式过滤器。在现代半导体高洁净度工艺管路中，微量纳米级物料颗粒以及随管路震动剥落的金属微屑会对芯片的电学良率和表面物理平整度带来严重的破坏。该款过滤器采用革命性的固态一体化物理包装设计，能够直接取代标准的 1/4 英寸 VCR 气路密封垫片，在不额外改变和占用现有精密气路面板空间的前提下，提供持续高效的终端微粒截留屏障，协助整个气动控制网络平稳运行。
在核心材料与物理性能方面，WGPM0GGG2 展现出了极佳的抗化学腐蚀能力与极端热力学稳定性。其核心过滤介质摒弃了常规过滤耗材中可能引入二次污染的各种有机粘结剂或树脂成分，完全由高纯度不锈钢微孔烧结滤膜构成。这种全金属的微观多孔编织结构不仅能够承受高达 400 ℃ 的持续高温烘烤，还可以在 20 MPa 的超高工作应力下保持物理形态不发生形变。得益于英特格原厂出色的多层深度过滤技术，该滤芯能够针对直径仅为 0.01 微米的悬浮超细颗粒物提供近乎完美的捕获效果。同时，其内部经过优化的三维流道分布设计，有效增加了单位面积的有效流通气体通量，成功降低了高流速高密度气体穿透滤网时产生的局部突发性瞬态压降，确保了下游反应腔体内部的气压平衡。
在行业应用和系统维护方面，该产品被广泛集成于电子级特殊气柜（Gas Box）、气路分配面板（VMB）、物理气相沉积（PVD）设备、化学气相沉积（CVD）工艺线以及各种精密质子注入机的核心工艺气体供气段。由于其外形尺寸高度契合 1/4 英寸的 VCR 规格，并且自带定位卡圈（Retainer），现场设备操作与装配工程师在进行定期的生产线管路耗材更换维护时，无需切断或拆卸复杂的管线法兰，即可像更换普通密封垫片一样将其轻松塞入现有的标准气体控制面板内。这大幅缩短了因滤芯堵塞造成的晶圆厂设备停机时间，并防止了由于反复装拆管路导致的二次大气微尘污染入侵，为先进制程设备构筑了可靠的终端防护层。
针对不同流速条件以及化学特性各异的电子级腐蚀性、毒性气体，英特格原厂在 Gasketgard 系列产品框架内提供了非常完备的延伸与备件选型梯队。如果现场的配气控制面板采用了更大通径的管道系统（例如主流的 3/8 英寸或 1/2 英寸 VCR 气体卡槽），用户无需进行管路缩径改造，可以直接平替升级选用同系列中尺寸更宽的 WGPM0GGT4 或是 WGPM0GGT2 系列大流量垫片式滤芯。而针对某些存在强酸、强碱或超强氟化腐蚀的特种刻蚀洗涤气体管线，原厂也推荐搭配使用全镍材料制造的超强耐蚀系列（如 WGFGMBRR4），在维持相同气体颗粒阻隔特性的基础上，彻底消除由于化学相互反应引起的基质金属阳离子析出风险，为晶圆厂的超净气体供应线提供全方位的技术支撑。
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGPM0GGS2
WGPM0GGS4
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS2
WGMXMBSS3
WGMXMBSS4
WGMXMPRR2
WGMXMPSS2
WGMXMPSS4
WGFGMBSS4
WGFGMBSS2
WGFGMBRR2
WGFGT1SS1
WGFGT1RR1
WGSTH1SS2
WGSTH1RR2
WGSVM1SS2
WGSVM1RR2
WGMXN0RR2
WGMXN0SS2
WGMXN0RR4
WGMXN0SS4
WGMXP0RR2
WGMXP0SS2
WGMXP0RR4
WGMXP0SS4
LGMXFPRR4
LGMXFPSS3
SI2MSNFE05
SI2N0025R
SI2N0050R
SI2N0100B
SI2N0100BRR8
SI2N0200B
SI2R007RO
SI2R15E05
SI5BGLTE07
SI5BGLTE05
SI2N0025B
SI2N0050B
SI2N0200BRR8
SI5BGLTE03
SI5BGLTE02
WGSTH1SS4
WGSTH1RR4
WGSVM1SS4
WGSVM1RR4
WGFGMRR41
WGFGMSS41
WGFGMRR21
WGFGMSS21
WGPM0GSS2
WGPM0GSS4
WGPST1SS2
WGPST1RR2
WGPSV1SS2
WGPSV1RR2
WGSTX1SS2
WGSTX1RR2
WGSVX1SS2
WGSVX1RR2
WGFGT1SS2
WGFGT1RR2
WGFGT1SS4
WGFGT1RR4
WGSTX1SS4
WGSTX1RR4
WGSVX1SS4
WGSVX1RR4
WGMXN1RR2
WGMXN1SS2
WGMXN1RR4
WGMXN1SS4
WGMXP1RR2
WGMXP1SS2
WGMXP1RR4
WGMXP1SS4
WGMXM1RR2
WGMXM1SS2
WGMXM1RR4
WGMXM1SS4
WGMXM0RR2
WGMXM0SS2
WGMXM0RR4
WGMXM0SS4
WGSTH0SS2
WGSTH0RR2
WGSVM0SS2
WGSVM0RR2
WGSTH0SS4
WGSTH0RR4
WGSVM0SS4
WGSVM0RR4
WGPST0SS2
WGPST0RR2
WGPSV0SS2
WGPSV0RR2
WGPST0SS4
WGPST0RR4
WGPSV0SS4
WGPSV0RR4
WGPST1SS4
WGPST1RR4
WGPSV1SS4
WGPSV1RR4
WGSTX0SS2
WGSTX0RR2
WGSVX0SS2
WGSVX0RR2
WGSTX0SS4
WGSTX0RR4
WGSVX0SS4
WGSVX0RR4