- 品牌：英特格 (Entegris / 前身包含 Mykrolis)
- 系列：Wafergard® MAX In-line Gas Filters 系列
- 完整型号：WGMXMBRR2
- 性能级别：Bronze 青铜级高流量设计
- 设备品类：超高纯在线式（In-line）特种气体膜过滤器
- 滤芯材质：高密度聚四氟乙烯 (PTFE) 过滤膜介质
- 支撑结构材质：全氟烷氧基烷烃 (PFA) 支撑骨架
- 外壳材质：高品位 316L 不锈钢 (内表面经过高洁净精密电磁抛光处理)
- 接口规格：1/4 英寸垫片密封接口（完全兼容标准 VCR 密封接头形式）
- 接口形式：公头输入 / 公头输出 (Gasket Seal Male Inlet/Outlet)
- 颗粒滤除能力：在气体流量中可有效拦截并去除直径大于或等于 0.0015 微米 (1.5 纳米 / µm) 的超细微悬浮颗粒物，拦截率达到国际领先水平
- 最大工作压力：依据超高纯气路设计规范，最高可承受 20.7 MPa (207 bar / 3000 psi) 连续管路系统压力
- 工作温度范围：连续运行工况下最高支持 120°C (248°F) 的系统环境温度
- 氦气检漏率：整体漏率小于 1 x 10^-10 Pa·m³/sec，具有极佳的密封气密性
- 产品重量信息：约 0.35 kg (不含保护端盖及外层真空包装)
英特格（Entegris）推出的 Wafergard® MAX 系列在线式超高纯气体过滤器（官方专属定制型号：WGMXMBRR2）是一款面向半导体前道晶圆加工、先进集成电路制造、光伏太阳能电池片生产以及各类精密电子化学品气路系统研发的尖端级管路过滤拦截组件。在现代精密微电子工艺中，由于芯片线宽的不断缩小，气路输送管道内部所附着的极其微小的金属粉尘、机械阀门磨损碎屑以及由于冷热变动产生的管壁脱落颗粒，都极易成为破坏晶圆表面电路拓扑结构的致命元凶。为了给光刻、刻蚀、化学气相沉积（CVD）及原子层沉积（ALD）等高价值核心工艺舱体提供长久、稳定的纯净气体环境，该设备在继承了英特格半导体纯化技术平台的基础之上，通过一体化全焊接工艺以及紧凑的直通（In-line）物理结构，完美解决了气体控制面板（Gas Box）、阀门分配箱（VMB）以及高纯气柜（Gas Cabinet）等设备内部极其严苛的空间布局限制。
在核心性能和材质表现上，WGMXMBRR2 展现出了材料化学惰性与极强物理过滤能力的紧密结合。其内部过滤核心采用耐腐蚀性及热稳定性均表现突出的聚四氟乙烯（PTFE）高密度微孔膜介质，并辅以全氟烷氧基烷烃（PFA）提供坚固的内部网目支撑。过滤器外部壳体则选用内部经过严格电解抛光工艺的高品味 316L 不锈钢。这种配置使得该过滤器在面对各种高活性、强腐蚀性的工艺反应气体（如卤族气体、酸性气体等）、高纯不活性气体、甚至强氧化性的臭氧（O3）时，均能维持出色的抗腐蚀表现。与此同时，其在长期大流量气流的冲刷下，依然拥有极低的微量金属离子释出和极低的气体析出特性。根据权威半导体制程测试标准认证，WGMXMBRR2 能够高效消除流动气源中直径低至 0.0015 微米（即 1.5 纳米）以上的微细颗粒物，为精密气路提供稳固的防护。为了确保产品处于随时可用的开机状态，每一只设备在出厂前都经历过深度的原厂洁净烘烤与充氮无尘包装，使得用户在完成管路接驳后能够迅速让气路达到工艺平衡，缩短了晶圆厂精密机台的调试周期。
在行业适用性与系统集成层面上，该过滤器属于 Bronze（青铜级）性能定位，专为高流量与超低压差应用而开发。它配备了标准半导体气路所通用的 1/4 英寸 VCR 金属垫片密封公头接口（Male to Male 接头），整体外形长度设计与早期英特格常规过滤器保持一致。这意味着设备工程师在对现有阀门面板进行技术升级或滤芯更换时，可以直接进行同尺寸原位替代，无需改动任何管线和硬件底座。由于其出色的内部流道优化设计，当特殊气体以大吞吐量经过滤膜时，过滤器能够将内部压降控制在合理范围内，避免了产生明显的节流效应对下游 MFC（质量流量控制器）的控制精度造成干扰。在实际的工业分布式超高纯气体输送网络中，由于不同制程段和工艺节点的管径、流速、压力存在差异，该型号除了单独应用外，也常常与同系列 1/2 英寸规格的 WGMXMBRR4 过滤器，或者主干道大流量用的 Wafergard SG MAX 系列、全金属烧结介质的 WG2F02RR2 等相关型号构成多级互补的气体过滤与纯化方案。这种协同工作方式从主供气源头到最终的机台点（Point-of-Use）构筑起了严密的数据安全和良率保护伞，是各大半导体 OEM 制造大厂、特种气体集成商用以防止晶圆次品和提升产品良率的重要基础性保障。
WGMXMSRR2
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WGZF01SS1
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