- 品牌：英特格 (Entegris / 曾用名 Mykrolis)
- 系列：Wafergard® MAX In-line Gas Filters 系列
- 完整型号：WGMXMSRR2
- 设备品类：超高纯在线式（In-line）特种气体过滤器
- 滤芯材质：高密度聚四氟乙烯 (PTFE) 膜介质
- 外壳材质：高品位 316L 不锈钢 (内表面经过精密电磁抛光处理)
- 接口规格：1/4 英寸垫片密封接口（完全兼容标准 VCR 密封接头）
- 接口形式：公头输入 / 公头输出 (Gasket Seal Male Inlet/Outlet)
- 颗粒滤除能力：可高效滤除直径大于或等于 0.0015 微米 (µm) 的超微细颗粒物
- 最大工作压力：依据半导体工艺规范，最高可承受 20.7 MPa (207 bar) 气路系统压力
- 工作温度范围：最高可稳定运行于 120°C (248°F) 工况环境
- 产品重量信息：约 0.32 kg
英特格（Entegris）推出的 Wafergard® MAX 系列在线式高纯气体过滤器（具体型号：WGMXMSRR2）是一款面向半导体、微电子、光伏太阳能以及精密高纯材料加工行业打造的高性能气路拦截组件。在如今线宽不断缩小的先进制程中，任何气路管线内部附着的微尘、管壁磨损颗粒或二次污染，都会严重影响晶圆表面的物理与电学结构。为了给关键核心工艺舱体提供清洁的气体输入环境，该设备在延续了该系列产品家族一贯的高洁净结构技术平台基础上，采用了紧凑的一体化全焊接封装形式，不仅满足了紧凑型气体控制面板（Gas Box）以及阀门分配箱（VMB）等极其苛刻的物理安装空间限制，同时还将气体流动中的微量污染物拦截率提升到了极佳的水平。
在核心性能表现上，该产品完美融合了极佳的材质化学惰性与超强的精细过滤网目。其内部核心滤芯采用高纯度 PTFE（聚四氟乙烯）膜介质，外壳则精选经过特种电解抛光工艺处理的高品位 316L 不锈钢。这种设计不仅赋予了过滤器面对各类特殊材料气体（诸如各类强腐蚀性反应气体、惰性气体、甚至是高活性臭氧等）时卓越的抗腐蚀能力，还能在极大的气流冲击下始终维持超低的金属离子和有害气体的析出率。根据测试认证，其能够以极高的过滤效率彻底消除气体中直径低至 0.0015 微米（即 1.5 纳米）的超细微颗粒物。并且，通过出厂前的特殊深度烘烤与真空充氮包装处理，产品具备即插即用、迅速达到工艺平衡的特性，极大地缩短了晶圆厂设备初次开机调试的等待时间。
在行业适用性与系统集成层面上，WGMXMSRR2 配备了 1/4 英寸的标准 VCR 金属垫片密封公头接口（Male Inlet/Outlet），可以非常简便地串联应用在化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）或原子层沉积（ALD）等前道制程设备中。其卓越的大流量低压差设计，让气体在大吞吐量经过时依然能保持平稳的压力输出，避免产生明显的节流效应导致气流不稳。此外，在实际的工业多级气体纯化拓扑网络中，该型号常与 1/2 英寸规格的 WGMXMSRR4 或全金属材质的 WG2F02RR2 等互补型号配合，搭建在厂区气体分配总管与机台使用点（Point-of-Use）之间。它凭借在各种极限化学和热稳定条件下的稳定输出，成为了各大半导体 OEM 制造厂、气体输送控制系统集成商用来防止晶圆次品率、提升成品良率的可信赖之选。
以下为英特格（Entegris）Wafergard® MAX 系列及其他相关的高纯气体过滤器产品型号列表，包含多种接口规格和过滤材质的组合，适用于不同的半导体制造和特种气体控制场景：
Wafergard® MAX系列常用型号：
WGMXMSRR4, WGMXMBRR2, WGMXMBRR4, WGMXMBSS2, WGMXMBSS3, WGMXMBSS4, WGMXMPRR2, WGMXMPRR4, WGMXMPSS2, WGMXMPSS3, WGMXMPSS4, WGMXMPSV2, WGMXMPSV3, WGMXMPSV4
WG2F02RR2, WG2F02RR4, WGFGT1PR1, WG2FT1RR2, WG2F15HJJ6, WGLMMPRR4, WGLMMPSS4, LGMXFPRR4, SI2N0025R, WGPF01RR1, WGNF01RR1, WGBF01RR1, CE2004VCR4 等
- Wafergard® MAX 系列：WGMXMSRR4, WGMXMBRR2, WGMXMBRR4, WGMXMBSS2, WGMXMBSS3, WGMXMBSS4, WGMXMPRR2, WGMXMPRR4, WGMXMPSS2, WGMXMPSS3, WGMXMPSS4, WGMXMPSV2, WGMXMPSV3, WGMXMPSV4
- WGLM 系列：WGLMMPRR4, WGLMMPSS4, WGLMMPSV4, WGLMMPRR2, WGLMMPSS2, WGLMMPSV2
- WG2F/WGMF/WGPF等系列及CE系列：包含WG2F02RR2, WG2F02RR4, WG2F32PS1, WGFGT1PR1, WGPF01RR1, CE2004VCR4等多种规格。