美国 Entegris 应特格 工业级气体纯化器GPUS100FHX04R00CA
GPUS100FHX04R00CA 是由 Entegris (英特格) 生产的 GateKeeper® GPU 系列 常温气体纯化器。该产品专为半导体、LED及平板显示制造等超高纯度气体需求场景设计。
产品核心规格
型号解析：
GPU 100： 代表该产品的流量规格及外壳尺寸。
HX： 代表所使用的 HX 纯化介质。这种介质通常用于纯化 H2 (氢气)、N2 (氮气)、Ar (氩气)、He (氦气) 或其他惰性气体。
04R： 通常指代接口尺寸为 1/4" VCR 接口。
纯化能力： 可将气体中的杂质（如 H2O、O2、CO、CO2 等）降低至 <100 pptV (万亿分之一) 级别。
过滤精度： 配备集成的 Wafergard® 金属膜过滤器，过滤精度通常可达 0.0015 μm，有效去除超细微粒。
主要技术特点
常温纯化： 采用环境温度纯化技术，无需电力或加热，降低了运行成本并提高了安全性。
高性能过滤： 采用 316L 不锈钢外壳，具备极低的压降和优异的密封性（漏率 < 1 x 10⁻⁹ atm cc/sec）。
超长寿命： 在额定流量和标准杂质浓度下，设计寿命通常为一年，且该系列部分型号支持工厂再生（Regenerable）。
应用场景
该纯化器通常安装在工艺设备的 使用点 (POU)，用于以下工艺：
光刻 (Photolithography)
外延生长 (Epitaxy)
干法刻蚀 (Dry Etch)
薄膜沉积 (Deposition)
GPUS100FHX04R00CA
GPUS100FHX04R01CA
GPUS100FHX04R02CA
GPUS100FHX08R00CA
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GPUS100FIX04R00CA
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