美国 Entegris 英特格 Fluorogard® NX过滤器 CTCWT100Q0D
这些过滤器专为腐蚀性水性化学品和溶剂而设计，为先进的湿法蚀刻和清洗 (WEC) 应用提供了一种经济高效的替代方案。
保留等级为 10 µm 至 15 nm，可去除各种酸、碱和其他工艺化学品中的颗粒。
只需最短的设置时间，从而降低先进 WEC 工艺的拥有成本
非常适合中高流量延长使用寿命的应用
疏水膜的表面积增大，可提高流速性能并降低压降，从而在高温下实现更高的吞吐量和更高的器件产量
PTFE/PFA 氟树脂材料采用热粘合 PFA 结构，确保出色的化学相容性，并最大限度地减少可能影响工艺性能的氯化物和金属萃取物
经济高效的预湿滤芯过滤器选项可湿润 0.9% 的 H2O2 ，从而允许在水性化学品中快速启动并防止酒精与化学品发生相互作用
Fluorogard® NX 过滤器应用
半导体和显示器市场应用中的中高流量化学应用
湿法蚀刻和清洗 (WEC) 应用/单程和再循环
大宗化学品制造
散装化学品输送系统（BCDS）
腐蚀性水性化学物质
高级溶剂
注意：Fluorogard NX 滤光片不建议用于 SPM、SC1 和 SC2 等高释气量解决方案。Entegris 建议在这些应用中使用QuickChange ® NX 滤光片。
NXT筒式过滤器
墨盒长度 A（总体） B（对照组） C（肩部）
4英寸 132.3 毫米（5.21 英寸） 115.0 毫米（4.53 英寸） 113.0 毫米（4.45 英寸）
10英寸 262.3 毫米（10.33 英寸） 245.0 毫米（9.65 英寸） 243.0 毫米（9.57 英寸）
20英寸 498.3 毫米（19.62 英寸） 481.0 毫米（18.94 英寸） 479.0 毫米（18.86 英寸）
30英寸 738.0 毫米（29.06 英寸） 721.0 毫米（28.39 英寸） 719.0 毫米（28.31 英寸）
NXE 筒式过滤器
墨盒长度 A（总体） B（对照组） C（肩部）
10英寸 244.0 毫米（9.61 英寸） 227.0 毫米（8.94 英寸） 225.0 毫米（8.86 英寸）
20英寸 471.0 毫米（18.54 英寸） 454.0 毫米（17.87 英寸） 452.0 毫米（17.80 英寸）
30英寸 699.5 毫米（27.54 英寸） 682.0 毫米（26.85 英寸） 681.0 毫米（26.81 英寸）