英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard® II F 微型在线气体过滤器
这些气体过滤器推荐用于惰性和反应性气体，与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和柜中。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了较低蒸气压气体的冷凝风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
适用于惰性气体和反应性气体，包括臭氧
应用领域
Wafergard II F 微型在线气体过滤器应用
生命科学应用
臭氧应用（气体）
煤气柜和面板
超纯气体系统
内部处理工具
产品规格
材料
滤芯
由模制 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电解抛光 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度 小于 0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3）大于 0.01 µm
挥发物 <10 ppb 水分
去除等级 ≥0.0015微米
内部表面处理 ≤7 µin Ra
氦气泄漏等级 合格的 2×10 -10立方厘米/秒
已测试 1×10 -9立方厘米/秒
使用条件 最大入口压力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大前向压差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向压差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留
在 30 slpm 下去除所有颗粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的颗粒尺寸为准）
流量等级 参考性能数据
零件编号
Wafergard II F 微型在线气体过滤器零件号
零件编号 配件尺寸和类型 长度 应用
WG2FT1BW2 1/4" 对焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半导体
WG2FT1RF2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/内螺纹出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半导体
WG2FT1RR2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半导体
WG2FT1RR2L 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科学
WG2FT1SS2 1/4" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半导体
ENTEGRIS 过滤器 WGFGMBRR2
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 过滤器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 过滤器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 过滤器 WG2F02RR2
Entegris 过滤器 WG3D40DR2
Entegris 过滤器 WG3D40DR2
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris 过滤器 WGFG21KP0
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGG2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMBSS2
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMSRR4
Entegris 过滤器 WG2FT1RR2
ENTEGRIS 滤芯 WGFG01DS0
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT4
Entegris 过滤器 WG3NS6RR2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WG3NS2RR4
Entegris 过滤器 WG2FT1SS2
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
Entegris 过滤器 WG2FT1RR2
entegris 滤芯 CTFG01TPE
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT4
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 过滤器 WG3NS8RR2
ENTEGRIS 过滤器 CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 过滤器 WG3NSMSL2
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2