美国 Entegris 应特格 纯化器 GPUS2500FHX08R00CA 原装现货
Entegris 的 GateKeeper® GPU 气体纯化器旨在提高对高纯度气体要求*高的微电子应用中的纯度一致性、使用寿命和最终纯度。
利用我们在材料科学方面的专业知识，我们开发出了新一代 YX 气体净化产品，具有无**比的价值和性能。
应用
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- 半导体
- 数据存储
- 平板显示器
- 发光二极管
- 太阳能
特点和优势
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过程控制和保护 纯度控制在低于十亿分之一 (ppb) 的水平
通过净化器的压降低
通过压力设备指令 (PED) 的 CE 认证
在 ISO® 9001:2015 工厂制造
成本效益高 可再生资源 - 消除了处理问题和成本
使用寿命长 - 降低拥有成本
使用安全简单 使用环境温度净化 - 无需加热或供电
无需加热或供电
对方向（水平/垂直）不敏感
净化气体 NH3、C2H4、GeH4、CSiH6
C2H7N、C3H6、SF6、H2/SiH4 混合物
C2H8N2、CH3SiH3、SiH4、
去除杂质 出口纯度
H2O <1 ppb
O2 <1 ppb
CO2 <1 ppb
有机物 >C4 <1 ppb
金属 <1 ppb
出口颗粒过滤器 Wafergard® - 316 不锈钢膜，20 μm 或 0.0015 μm
使用寿命 在入口湿度为 0.5 ppm 的情况下，使用寿命为一年。
如下页所示。
寿命随入口杂质和流速而变化。
有关具体应用的寿命计算，请联系 Entegris。
可再生 是
(如果工艺气体为 SF6，则不建议再生）
危险品 (DG) 是，UN2881，4.2 类
工作温度 0° - 65°C (32° - 149°F)
泄漏额定值 1 × 10-9 atm cc/sec of He
结构材料 外壳： 316L 不锈钢
认证 通过压力设备指令 (PED) 的 CE 认证
设计符合 ASME® 标准