美国 Entegris 英特格 直通式气体过滤器 WG3NS8RR2 全新
美国 Entegris 英特格 直通式气体过滤器 WG3NS8RR2 全新
为超纯气体系统过滤提供卓越的微粒过滤，是高温和动态压力应用的理想选择。
- 最先进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除除气
- 全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
- 紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了最高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
| 材料 |
滤芯 |
烧结镍膜过滤器 |
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住房 |
电抛光 VAR316L 不锈钢外壳 |
| 下游清洁度 |
粒子 |
<0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3） >0.01 μm |
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挥发物 |
H 2 O、O 2和 THC 的挥发性脱气低于检测限（在室温下通过 RGA 和 FID） |
| 移除等级 |
≥0.0015 微米 |
| 表面饰面内饰 |
≤5μin Ra |
| 氦泄漏等级 |
合格的 |
2 × 10 -10 atm-cc/秒。 |
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已测试 |
1 × 10 -9 atm-cc/秒。 |
| 最大操作条件： |
最大入口压力 |
20°C (68ºF) 时为 20 MPa（200 bar，2900 psid） |
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设计压力 |
20°C (68ºF) 时为 20 MPa（200 bar，2900 psid） |
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最大正向/反向压差 |
1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸） |
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最高工作温度 |
惰性气体 |
400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi) |
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腐蚀性和反应性气体 |
50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi) |
| 保修单 |
5年 |
| 颗粒保留 |
在 15 slpm 时去除所有颗粒大于 99.9999999% (9 LRV) |
| 流量等级 |
参考性能数据 |