英特格(Entegris)气体过滤产品对于制程气体应用,可以达到0.003微米的颗粒过滤效率。拥有镍，不锈钢 和 Teflon®膜的生产技术， 可以提供不同尺寸接头，及流量的产品，在制程机台端或厂务设备上， 广泛应用于半导体，光电及太阳能产业。
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